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FRD, 온실가스 대체물질 'F2혼합가스' 연구개발
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아산화질소(N2O), 이산화탄소(CO2), 암모니아(NH3), 중수소(D2), 육불화황(SF6), 삼불화질소(NF3) 등의 고순도가스와 엑시머 레이저를 제조, 판매하고 있는 FRD는 육불화부타디엔(C4F6), 이산화황(SO2), 디플루오르메탄(CH2F2)...


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