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정보 바로가기 : “반도체용 희가스 국산화 必, 분리 기술 주목해야”
“반도체용 희가스 국산화 必, 분리 기술 주목해야”[카테고리 설정이 아직되어 있지 않습니다.]
이어 “이제는 희가스 국산화를 위해 제철공장 ASU에만 의존하지 말고 반도체 디스플레이 공정에서 배출되는 배가스에서 희가스를 회수하여 재사용하려는 노력이 필요하다”고 강조했다. 예를 들어 Excimer Laser 배가스에...
서울과학기술대학교 환경기술연구소 한국연구재단 중점연구소 
