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워트, 공조 제어 THC 삼성전자 이어 中ㆍ대만 매출도 증가세…日 장비 ...[카테고리 설정이 아직되어 있지 않습니다.]
THC는 반도체 포토공정 중 코팅 공정과 노광공정을 마치고 나온 웨이퍼를 현상하는 공정의 각 격실에 미립자, 초정밀 온습도, 미량가스(NH3, ACID 등)를 제어한 공기를 공급하는 장비다. THC는 공정 환경·공조 제어를...
