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[기고]산업계 온실가스·미세먼지, 동시 감축에 시동 걸다
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또 반도체 생산공정에서도 지구온난화지수(GWP)가 높은 온실가스 '불소화합물'을 제거하기 위해 고온 열분해를 가하면 미세먼지 원인물질인 질소산화물을 증가시킨다. 공정 내 미세먼지 배출저감을 위한 대표적 환경설비...


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